Чистота контроль латунних фітингів у напівпровідникових спеціальних газових системах
Вступ до напівпровідникових спеціальних газових систем
Процеси виробництва напівпровідників вимагають надолійних, висококонтрольованих середовищ.
Спеціальні системи доставки газу відіграють вирішальну роль у кроках, осадженнях, допінгу та очищенні.
Такі гази, як силан, аміак, хлорид водню та трифторид азоту, потребують транспортних шляхів з високою чистотою.
Латунні фітинги, хоча і не завжди перший вибір, іноді застосовуються у вторинних лініях або системах підтримки.
Підтримкахімічна чистота та структурна цілісністьлатунної арматури є життєво важливим для уникнення забруднення.
Важливість матеріальної чистоти в напівпровідникових додатках
Напівпровідники надзвичайно чутливі до домішок молекулярного рівня.
Навіть запчастини на мільярд (PPB) забруднення від трубопроводів або арматури може призвести до втрати врожаю або відмови пристрою.
Отримання, корозія або поверхневі реакції в газових лініях повинні бути щільно контрольовані.
Це робить вибір матеріалів та управління чистотою центральним для проектування газової системи.
Латунь з належним фінішним та контролем якості може відповідати цим стандартам у некритичних газових лініях.
Латунний матеріальний склад та проблеми
Стандартна латунь - це сплав міді та цинку, іноді містить свинець або олово.
Такі домішки, як сірка, фосфор або залишкові олії, можуть погіршити рівень чистоти.
Латунь з високим вмістом строго уникають у застосуванні чистої кімнати або напівпровідників.
ЄдинийНизький провідний, стійкий до дезицифікації (DZR)Латунь слід враховувати для таких середовищ.
Виробники повинні надаватиматеріальні сертифікатиПідтвердження відповідності стандартам напів, ASTM або ROHS.
Показування поверхні та електрополізації
Внутрішня поверхня обробки латунних фурнітури значно впливає на чистоту газової системи.
Шорсткі або пористі поверхні захоплюють вологу, вуглеводні та тверді частинки, викликаючи тривале забруднення.
Щоб протистояти цьому, фітинги часто єЕлектропладнийДля досягнення плавної пасивної внутрішньої поверхні.
Цільова шорсткість поверхні (РА), як правило, менша, ніж0.2 µmдля ліній розподілу газу.
Після полірування, фурнітура зазнає прибирання вУльтраустрічі розчинникиз подальшим вакуумним сушінням та очищенням азоту.
Контроль частинок та упаковка чистої кімнати
Латунні арматури для напівпровідникових газових систем повинні відповідати суворимТехнічні характеристики частинок.
Будь-які пухкі частинки або металеві пластівці можуть бути катастрофічними для пластин, чутливих до газу.
Щоб вирішити це, арматура зазнає високої чистотиУльтразвукове очищенняВикористання DI WATER та CLASS 100 чистих стандартів.
Після очищення фурнітури єподвійнийв упаковці чистої кімнати для запобігання повторної об'єднання.
Етикетки часто включають простежуваність партії, очищення інформації про партію та індикатори контролю вологості.
Пасивація та покриття для хімічної стабільності
Оскільки латунь є більш реакційноздатною, ніж нержавіюча сталь, поверхнева пасивація має вирішальне значення.
Методи пасивації включають контрольоване окислення, покриття без хрому абоНікельне покриття.
Нікельські або електропровідні нікелеві покриття служать бар'єрним шаром для запобігання вилуговування або окислення цинку.
Це покриття також підвищує хімічну сумісність з такими газами, як HF або CLF₃.
Регулярні перевірки товщини покриття та тестування на адгезію забезпечують довговічність у системах під тиском.
Інспекція, сертифікація та відстеження
Фурнітура з високою чистотою повинна пройтиБагаторівнева перевіркаперед інтеграцією в газові лінії.
Тестування включає:
Тестування на витоки гелію (як правило<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Аналіз залишкового газу (RGA)
Тести на проливання частинок мікробалансу
XRF або ICP-MS для перевірки матеріалів
Кожен пристосування має бути повністюпростежується за номером партії, з асоційованимСертифікати відповідності (COC).
Деякі заклади вимагають сторонніх аудитів або сертифікаційної документації ISO 14644.
Межі та альтернативи застосування
Хоча латунь може відповідати критеріям чистоти, його використання єобмежені некритичними шляхамиу напівпровідникових фабам.
Для газової лінії ультра-високої чистоти (UHP),316 л нержавіючої сталі з відеомагнітофоном або орбітальними швамиє кращим.
Латунні арматури можуть застосовуватися у вихлопних системах, очисних лініях абоОбробіть системи охолодження води.
При правильному виборі та обробці належним чином латунь забезпечує економічно вигідне, стабільне рішення.
Майбутні досягнення технологій покриття та очищення можуть розширити свою корисність у напівпровідникових програмах.
Висновок
Контроль чистоти в латунних фітингах для напівпровідникових спеціальних газових систем є як складним, так і важливим.
Від вибору матеріалів до обробки та упаковки поверхні кожен крок впливає на якість газу.
Хоча латунь не ідеально підходить для застосувань з високою чистотою, розширене лікування та контроль якості можуть зробити його життєздатним у вибраних зонах.
Завдяки суворому огляді, пасивації та сертифікації, ці арматури можуть безпечно підтримувати середовища виробництва мікросхем нового покоління.
Зверніться до IFAN
Телефон:+86 15088288323
Електронна пошта:sales24-ifan@ifangroup.com
